设计一套用于半导体设备改造的 Python 自动化框架

主题演讲
14:05 - 14:35
分会场 B(421 教室)
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摘要

在现代晶圆厂中，如何改造现有的半导体设备，使其具备数据接口、实时监控与灵活控制能力，是一项日益严峻的挑战。本议程将分享一套以 Python 为核心设计的自动化框架，用于老旧设备的智能化改造。 该框架整合了 SECS/GEM、MCProtocol 等设备通讯协议，并搭配AI视觉识别模块与数据分析流程，用于预测性维护与制程优化。整体架构采用微服务设计，后端使用 Django，前端搭配 Vue.js，并可与 MES、FDC 或产线系统无缝衔接。 虽然目前仍处于开发阶段，整体架构已符合实际制造业的需求，提供一种以开源技术实现智慧制造的可行方案。

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大纲

  • 为何半导体设备需要改造？现场痛点介绍
  • 架构设计核心：模块化、可扩充、AI 就绪
  • 框架技术组成：
    • 通讯层（SECS/GEM、Modbus、MCProtocol）
    • AI 模块（例如瑕疵检测、影像分析）
    • 数据处理与传输（Redis、SQLite/PostgreSQL、InfluxDB）
    • 用户界面（Django REST + Vue.js 单页应用）
  • 范例工作流程：从设备数据到决策建议
  • 与 MES、FDC 系统整合方式
  • 实施过程中遇到的挑战与反思
  • Q&A

适合对象

  • 对工业自动化有兴趣的 Python 开发者
  • 探索 AI 在制造业应用的工程师
  • 半导体或电子制造业的系统整合工程师
  • 有意导入开源技术进行设备升级的技术决策者